地 址:大連保稅區(qū)海航路9號
標題:芬蘭KxS Technologies半導體濃度監(jiān)測儀DCM產(chǎn)品系列
主要產(chǎn)品
KxS Technologies的主要產(chǎn)品包括:
半導體濃度監(jiān)測儀
光學折射儀
過程監(jiān)測設備
主要型號
KxS Technologies的主要型號有:
DCM-10半導體濃度監(jiān)測儀
芬蘭KxS Technologies半導體濃度監(jiān)測儀DCM產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹:
芬蘭KxS Technologies半導體濃度監(jiān)測儀DCM產(chǎn)品系列
產(chǎn)品介紹
KxS Semiconductor濃度監(jiān)測儀DCM-10是一種光學折射儀,用于實時監(jiān)測晶圓加工過程中涉及的液體化學品或混合物的濃度。該設備采用折射率測量原理,通過檢測光線通過樣品時的折射角度變化來確定溶液濃度。
技術參數(shù)包括:
電源輸入:24 VDC
通信接口:模擬信號(4-20 mA)和數(shù)字信號(Modbus TCP)
顯示單位:溫度補償后的濃度單位(重量百分比或g/cm3)
連接尺寸:支持1/4、3/8、1/2、3/4和1英寸工藝管線
芬蘭KxS Technologies半導體濃度監(jiān)測儀DCM產(chǎn)品系列優(yōu)勢特點
? 設備采用獨立運行設計,測量功能集成在傳感器內(nèi)部
? 結構緊湊,占用空間較小
? 具有較好的流動特性,采用全通徑設計
? 安裝較為簡便,支持標準接頭
? 采用雙體結構,光學部件在流路單元拆卸時保持完好
芬蘭KxS Technologies半導體濃度監(jiān)測儀DCM產(chǎn)品系列主要應用:
芬蘭KxS Technologies半導體濃度監(jiān)測儀DCM產(chǎn)品系列
半導體制造
晶圓清洗
化學蝕刻
化學機械平坦化
來料化學品檢測


